文/王新喜
從2019年到今天,美國盯上先進芯片與制造設備,一直在加碼限制荷蘭光刻機向中國出售,這本來是日本光刻機順勢崛起、趁機搶市場的大好機會,但是這么多年過去了,日本尼康、佳能光刻機不僅沒能順勢搶到市場蛋糕,反而越來越邊緣化了,為啥?
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從光刻機市場來看,日本的尼康和佳能本來就是生產光刻機的,歷史比ASML悠久,技術也強,資金也雄厚。
在ASML之前,日本的尼康、佳能才是老大哥。尼康在1978年完成首臺半導體光刻機SR-1,佳能則早在1970年就推出日本第一臺商用光刻機PPC-1。不過發展到采用193nm的干式光刻機的時候,發生了分歧,日系廠商認為要繼續研發使用波長更短的光源比如165nm,來提高光刻分辨率。
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但是165nm波長的光線非常不穩定,研究了幾年,大家都沒進展。
轉折點發生在ASML與臺積電合作,制造出全球第一臺以水為介質的浸潤式光刻機,采用193nm波長,但等效于134nm,馬上投入臺積電的生產線上,效果非常好。
于是市場慢慢的全被ASML搶走了,后來ASML更造出了EUV光刻機,獨家壟斷了光源,差距進一步拉大,尼康也不得不選擇跟進,后來尼康也能夠量產用于生產7nm及以下制程的浸潤式光刻機,也就是DUV中的ARFI光刻機。
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日本尼康曾經是光刻機領域曾經的世界第一,但后來與ASML的差距已經拉開。不過,在DUV光刻機領域,尼康弱于ASML,但也能基本滿足需求,根據尼康過去透露,它所布局的NSR-S635E ArF 浸入式光刻機與ASML的EUV光刻機不同,使用DUV光源就可以加工5~7納米的芯片,每小時可以制造275片晶圓,并且不使用美國技術。
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簡言之,雖然EUV光刻機,尼康也造不出來,但尼康的實力是可以爭奪中國的DUV光刻機市場,對于尼康公司來說,也是一個翻盤的機會。但是這么多年過去了,以尼康為首的日本光刻機為何根本也沒能撼動ASML分毫呢?
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原因在于,首先是ASML光刻機的大客戶就是那么幾家,而且彼此形成了長期合作的供應鏈信任關系,ASML將眾多的光刻機的供應鏈捆綁在一起的,有很多核心企業更是獨家合作的,技術不會外流,別的企業要挖ASML墻角,非常難,尼康、佳能要挖這個墻角,是非常難得。
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日本光刻機的機會其實就是在中國市場。在ASML因為美國出口管制的壓力下被迫制裁我們的時候,我們其實也想多渠道拓寬光刻機進口來源,但是日本在這種情況下,選擇堅決服從配合美國制裁。
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比如2023年3月,日本政府就宣布對包括光刻機在內的23種半導體設備實施出口管制,從光刻機到光刻膠層層加碼限制對中國半導體設備出口,2024年4月,日本更進一步,把GAAFET(全環繞柵極晶體管)等先進技術也納入管制范圍,直接把大量優質訂單拱手讓給ASML。
而ASML限制向中國出口光刻機,是迫于美國制裁,是不情愿的,它選擇了一種利益優先,規則為輔的思維鉆政策的漏洞去靈活繞過美方出口管制。
自2022年起,荷蘭官方就多次態度非常強硬,聲稱“荷蘭不會一比一照搬美國(對華出口)的措施”。
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在美方2022年底不斷升級的芯片出口管制壓力下,荷蘭確實也出臺了新規,但這些規定主要是針對最新一代設備,舊型號及中低端產品依然能自由流通。在2023年,ASML向中國銷售了450臺光刻機,較2022年的出貨量提升了50%,總收入約有29%來自我國。
在2024年,荷蘭和美國最新頒布的出口管制法規已經生效,NXT:2000i及以上浸潤式設備的出口被限制,但在此前之前,ASML緊急向美申請了4個月的限制豁免期,緊急放行光刻設備,對我方加緊出貨。
2024年3月,荷蘭首相訪華親自表態會努力減少出口限制造成的影響。2024年9月加緊了出口許可規定,對NXT1980Di之后的DUV設備實行逐案審批,不過老款和中低端機型還是能照賣不誤。
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此外,荷蘭政府在2025年1月專門把大部分ASML對華銷售從“雙重用途”出口數據里剔除了,這相當于給公司開了綠燈,讓幾十億歐元的買賣不用公開接受審查。甚至主動構建中國本地維修網點,給現有設備保駕護航,持續綁定貿易關系。
但是日本似乎就從沒想過這個問題,嚴格遵循美方的制裁要求,日本經濟產業省直接發話,像尼康、佳能這種老字號企業,嚴禁把浸沒式光刻機賣給中國客戶。不留一絲口子,這導致日本2024年對華半導體出口萎縮20%以上,市場份額損失超過30億美元。
而荷蘭的操作則非常靈活,既維持美方的盟友關系,又給自家企業留足了生存空間,避免了在世界最大芯片消費市場“自斷財路”的尷尬。不少業內人士與媒體感嘆日本光刻機大大葬送彎道超車的機會,“盲目跟風, 荷蘭笑了,日本哭了”。
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荷蘭在“頂住美方壓力”與“穩住業務”間找到平衡,是一種靈活的生意人思維,有錢賺絕不把門關死,盡量努力減少出口管制對自身業務的影響,而日本光刻機原本只是第二梯隊,不是美國緊盯的頭部出口管制對象,但是日本卻比荷蘭更加積極的配合美國的出口管制。
荷蘭用靈活的實際行動與生意人頭腦穩住自己的市場,日本卻將產業命脈牢牢綁在美國的戰車上,綁在政治外交的站隊上,繼而導致自身的產業風險不可控,日本光刻機的話語權與市場份額進一步萎縮。
日經新聞反復提到,這種全盤服從,讓日本喪失了競爭的可能性。據《日本經濟新聞》在2024年11月透露荷蘭ASML照樣賣中低端設備,把本該屬于日本的市場給搶了去。
中國因為受美國的限制禁令,備受卡脖子之苦,國產替代的訴求比以往任何時刻都要更強烈。去年去年曝光的氟化氬光刻機,是ArF光刻機,接下來要突破的是浸潤式DUV。
此外,中國在光刻機技術還在推進納米壓印與電子光束多條路線并行研發。在EUV光刻機的光源技術上,哈工大與國儀超精密集團共建的11億元產線已試運行,雖然與ASML的商用標準尚有差距,但已足夠支撐原型機通過關鍵測試。
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中國用時間換空間,用進口緩沖期加速自研,實現關鍵節點的突圍。這種全球多極化的芯片市場分化已成趨勢,中國將成為重要一極。
半導體命運旋轉不息,技術之外折射出國家間的利益較量。尼康股價在2025年上半年訂單少了,業績也跟著掉鏈子,錯失在中國市場的機會,恐再無翻身之日了。
日本在光刻機市場的慘敗給市場上了一課,不要高看了自己,也不要低看了別人,做生意如果沒有自己的主見,將外交政治服從凌駕于商業經營之上,只懂的全方位配合美國制裁,沒有“利益優先,規則為輔”的靈活化思維,也相當于直接把自己的市場拱手讓人,放棄了國際博弈中的籌碼,最終葬送的是自己的前途與未來。
作者:王新喜 TMT資深評論人 本文未經許可謝絕轉載
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