同比激增1332.69%！中微公司薄膜設備成新增長引擎

本文由半導體產業縱橫（ID：ICVIEWS）綜合

中微公司Q3營收31.02億元，同比增長50.62%；歸母凈利潤5.05億元，同比增長27.50%。

10月29日晚間，國產半導體設備廠商中微公司發布了2025年第三季度報告。財報顯示，中微公司2025年前三季度營業收入為80.63億元，同比增長約46.40%；其中刻蝕設備收入61.01 億元，同比增長約 38.26%；LPCVD 和 ALD 等薄膜設備收入 4.03 億元，同比增長約 1332.69%。2025 年前三季度歸屬于上市公司股東的凈利潤為 12.11 億元，較去年同期增長約32.66%。

其中第三季度營收為31.02億元，同比增長50.62%；歸母凈利潤為5.05億元，同比增長27.50%。

根據市場需求，公司顯著加大研發力度。2025 年前三季度公司研發支出 25.23 億元，較去年同期增長約 63.44%，研發支出占營業收入比例約為 31.29%。中微公司針對先進邏輯和存儲器件制造中關鍵刻蝕工藝的高端產品新增付運量顯著提升，先進邏輯器件中段關鍵刻蝕工藝和先進存儲器件的超高深寬比刻蝕工藝實現大規模量產。

其中CCP方面，中微用于關鍵刻蝕工藝的單反應臺介質刻蝕產品保持高速增長，60 比 1 超高深寬比介質刻蝕設備成為國內標配設備，量產指標穩步提升，下一代 90 比 1 超高深寬比介質刻蝕設備即將進入市場。

ICP 方面，適用于下一代邏輯和存儲客戶用 ICP 刻蝕設備和化學氣相刻蝕設備開發取得了良好進展。加工的精度和重復性已達到單原子水平。其為先進存儲器件和邏輯器件開發的 LPCVD、ALD 等多款薄膜設備已經順利進入市場，并且設備性能完全達到國際領先水平，薄膜設備的覆蓋率不斷增加。

硅和鍺硅外延 EPI 設備已順利運付客戶端進行量產驗證，并且獲得客戶高度認可。在泛半導體設備領域，中微正在開發更多化合物半導體外延設備，已陸續付運至客戶端開展生產驗證。

近些年，中國半導體設備市場發展情況呈現出從依賴進口到自主發展的轉型態勢。2022年，受全球產業周期下行和國際貿易環境變化影響，市場規模下滑至263億美元，在此背景下，國內半導體產業加快設備國產化進程，2023年市場規模迅速回升至366億美元，2024年進一步增長至466億美元，預計2026年將達470億美元。

Q3前道半導體設備進口額創歷史最高

近日，海關總署公布的數據顯示，2025年第三季度前道制造設備進口總額達到101.87億美元，同比增長15.28%，環比增長33.15%，創下歷史最高紀錄。

其他光刻設備：Q3其他光刻設備進口數量為145臺，同比減少10.49%，環比減少3.97%；進口單價為1916萬美元，同比減少1.70%，環比增長113.39%。來自荷蘭的其他光刻設備進口數量為50臺，同比減少26.47%，環比增長31.58%；進口單價為5338萬美元，同比增長19.69%，環比增長63.51%，為歷史最高。

分步重復光刻設備：Q3分步重復光刻設備進口數量為58臺，同比減少31.76%，環比增長38.10%；進口單價為283萬美元，同比增長13.12%，環比增長2.14%。

CVD設備：Q3 CVD設備進口數量為557臺，同比增長22.96%，環比增長31.68%，為歷史最高；進口單價為346萬美元，同比增長12.24%，環比減少8.22%，為歷史次高，僅低于Q2的377萬美元。

PVD設備：Q3 PVD設備進口數量為131臺，同比減少21.56%，環比減少3.68%；進口單價為318萬美元，同比增長27.79%，環比減少1.31%。2024年以來PVD進口數量呈現逐步下降趨勢，表明國產PVD設備已實現一定程度的突破。

干法刻蝕設備：Q3干法刻蝕設備進口數量為496臺，同比增長42.94%，環比增長10.47%；進口單價為429萬美元，同比增長40.58%，環比增長11.74%，為歷史最高。該設備量價雙增且增速顯著，同比、環比均保持兩位數增長，說明產能擴張向先進制程傾斜。

其他刻蝕及剝離設備：Q3進口數量為126臺，同比減少12.50%，環比增長16.67%；進口單價為203萬美元，同比減少17.86%，環比減少2.40%，可能預示成熟制程相關設備市場趨于飽和，或進口替代進度快于核心設備。

離子注入：Q3離子注入設備進口數量為138臺，同比增長3.76%，環比增長12.20%；進口單價為295萬美元，同比減少20.69%，環比減少4.34%。目前國內離子注入機市場被應用材料、亞舍立兩家美國廠商壟斷，國產化率僅約5%。

熱處理設備：Q3氧化擴散等熱處理設備進口數量為377臺，同比減少2.58%，環比增長34.16%；進口單價為133萬美元，同比增長1.88%，環比減少3.95%。自2024年下半年起氧化擴散等熱處理設備進口數量整體呈下滑趨勢，但進口單價不斷走高，表明國產設備在中低端領域已占據一定份額。

旺盛的市場需求為國產設備提供了更多驗證與產線導入機會。以中微公司、北方華創為代表的國內頭部企業，在行業高景氣背景下，憑借部分已達到國際水平的產品，正逐步擴大市場份額。

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