中國通信行業觀察者項立剛在其個人平臺表示:
在灣芯展中,深圳萬里眼公司發布了90GHz高速實時示波器,這標志著中國企業再次拿下一個高精度技術產品。這次展會大家很興奮,但是也有失望的地方,那就是并沒有最新國產光刻機的信息發布。
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深圳市領導之前透露的驚喜,很多人將這個驚喜定義為光刻機,其實并不是,90GHz示波器就是這個所謂的驚喜。光刻機是拿來生產產品的,并不是擺出來展示的。相對于把等比例縮小的模型放在展會上面展覽,引起轟動,還不如放在生產線上面進行測試更具重要性。
參考資料:
光刻機是拿來用的不是拿來展的_風聞
全產業發展
從2018年美國開始啟動對華制裁,到現在已經過去了7年時間。在這7年的時間里,中國芯片首先完成了國產7nm芯片的量產,隨后又在全產業鏈的制造設備領域實現了多輪技術突破,刻蝕機、沉積設備、封裝設備等產品實現了國產化商用。
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甚至在卡脖子最嚴重的光刻機領域,中國部門也在2024年公開發布了國產干式DUV光刻機。
盡管該產品屬于最早期 的干式技術,但是其在發布之前毫無征兆,屬于是突然發布的國產設備,對比我國上海微電子曾經公布的90nm光刻機,最新的干式設備在分辨率上面提升巨大,可以完成28nm等傳統芯片的制造。
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復旦大學的沈逸教授在接受采訪時表示:
這種國產光刻機雖然對比國際水平較為落后,但這是中國自主研發的設備,甚至在此之前都沒有透露過一點消息,你美國想制裁都無法下手。這還只是允許公布的產品,我們的技術實驗室里面還有很多未公布的產品,這些未公布的產品到底是什么水平,到底有多少,什么時候被使用,我們誰也不知道,美國也無從得知。
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芯片產業鏈涵蓋了材料、設計、制造、封裝、服務等一系列的完整體系,支撐這個產業鏈還需要軟件、制造設備、原材料等多個環節,其涉及到的產業人員復雜眾多。想要將整個產業鏈隱藏起來,在未來的某一個階段突然宣布技術突破,這是相當困難的,但是中國就可以做到,而且嚴絲合縫。
國產的干式DUV光刻機是這樣,華為的新麒麟芯片是這樣,隱藏實力低調發展,已經成為了中國芯片企業達成的一種共識。
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荷蘭半導體觀察者馬克·海金克在其個人作品《Focus:the ASML way》中寫道:
中國企業正在轉向“超摩爾定律”的路線,專注于在那些對先進芯片需求不大,并且對傳統成熟芯片需求旺盛的領域進行產能擴充,深入全球供應鏈體系,并讓國際層面對中國的傳統芯片產生依賴,這種互相依賴是推動芯片產業發展的核心因素。
國產設備
光刻機與其他設備不同,目前掌握光刻機制造技術的國家只有荷蘭、日本以及中國。
美國的鉑金埃爾默公司制造了全球第一臺商用光刻機,但是在后來分別經歷了被美國地球物理公司(GCA)收購,被美國硅谷集團收購等多次業務重組。2001年,在美國的允許下荷蘭ASML收購了美國硅谷集團,將美國的光刻機產業收入囊中,美國至此徹底退出光刻機產業的競爭。
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而先進的光刻機設備,例如浸潤式DUV光刻機、極紫外EUV光刻機則是被ASML完全壟斷,甚至日本的光學巨頭尼康、佳能、索尼等企業,都沒有與之競爭的實力。
根據德國蔡司半導體部門發布的官方信息顯示,蔡司的鏡頭已經幫助ASML制造了多款頂級的光刻機設備,這些設備制造了全球80%的芯片,蔡司半導體拿下了全球超1500項光刻機領域的技術專利,這些專利成為了其他競爭對手最難逾越的鴻溝。
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ASML的首席技術官馬丁和首席戰略官范霍特,曾經在2018年和2019年來中國訪問時發現,中國企業正在攻克更加先進的浸潤式設備技術。
這項技術的研發難度大、耗時長、而且還面臨著被美國切斷國際供應鏈的情況,所以中國企業一直在低調發展,從來沒有透露出任何有用的信息,甚至連海外媒體的一些咨詢都拒絕回復。
包括芯片的制造工藝節點,中國企業都已N來進行指代。N代表的是具有Fin FET晶體管結構的14nm-7nm工藝,在此之上又分為了N+1、N+2等制程工藝,這些特定的命名規則并沒有直接透露出芯片的制造工藝,但是卻代表了中國芯片不斷發展的情況。
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