2024年9月,美國與荷蘭幾乎同時對中國獨立研發(fā)的光刻機技術(shù)拋出尖銳批評。
美國媒體連篇累牘宣稱中國技術(shù)靠“逆向工程”得來,缺乏真正創(chuàng)新;
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不僅如此,荷蘭的ASML公司更是直接表態(tài),說中國企業(yè)絕不可能在短時間內(nèi)掌握高端光刻機的核心,甚至揚言,中國所謂的技術(shù)突破不過是表面文章罷了。
這兩場幾乎無縫銜接的批評,看似是對中國技術(shù)實力的質(zhì)疑,實則是全球半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域壟斷者面對潛在挑戰(zhàn)者時,焦慮感的集中爆發(fā)。
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美、荷當(dāng)年的同時發(fā)聲,不過是為出口限制政策找借口罷了
美荷那一次的同步發(fā)聲,選在一個非常微妙的時間點。
熟悉半導(dǎo)體領(lǐng)域的朋友應(yīng)該都有印象,早在美國和荷蘭共同發(fā)聲之前,美方就已經(jīng)拉著盟友開始對中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)進行出口管制。
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到了2024年9月,荷蘭政府突然宣布擴大深紫外光刻機(DUV)的出口許可要求,直接影響ASML對華銷售的NXT:1970Ci、NXT:1980Di等型號設(shè)備;
幾乎在同一時間,美國商務(wù)部那邊也更新了出口規(guī)則,進一步收緊對半導(dǎo)體制造設(shè)備的控制,明眼人都看得出來,這就是在想盡辦法封鎖中國光刻機技術(shù)。
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于是在批評聲集中爆發(fā)的第二天,我們做了什么呢?我國工業(yè)和信息化部發(fā)布重大技術(shù)裝備推廣目目錄。
其中明確包含了波長193納米、分辨率不低于65納米的氟化氬光刻機,主要用于28納米及以上芯片生產(chǎn)。
明眼人都能看出,美荷的批評并非單純的“技術(shù)討論”,而是試圖在中國制造出實用化設(shè)備前,先從輿論上削弱其技術(shù)可信度,同時為自己的出口限制政策找借口。
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ASML的態(tài)度堪稱矛盾
不過,這些批評聲里,最讓人注意的還是ASML的矛盾態(tài)度。
作為全球光刻機市場的“龍頭”,ASML占據(jù)著超過60%的市場份額,更是唯一能生產(chǎn)7納米及以下先進制程所需的紫外光刻機(EUV)的企業(yè)。
這家公司一邊從中國市場賺走大量資金,2021財年中國已是其第三大市場,貢獻了14.7%的全球營業(yè)額,靠著中國的消費需求實現(xiàn)業(yè)績高速增長;
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另一邊卻跟著美國的步調(diào)限制對華出口,從EUV到后來的14納米以下DUV,一步步收緊供應(yīng)。
如今中國被逼著自主研發(fā),ASML反而跳出來指責(zé)這是“破壞全球產(chǎn)業(yè)鏈”,甚至說中國技術(shù)“差得遠(yuǎn)”。
這種邏輯本身就站不住腳:如果真擔(dān)心產(chǎn)業(yè)鏈穩(wěn)定,為何要先切斷對中國的設(shè)備供應(yīng)?說到底,ASML怕的不是“產(chǎn)業(yè)鏈混亂”,而是中國一旦實現(xiàn)光刻機自研,會打破其壟斷地位,搶走原本屬于它的市場份額。
畢竟,ASML自己也曾有過類似困境。
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中國為什么一定要自己研發(fā)光刻機?
2005年正是靠引進中國工程師林本堅發(fā)明的浸潤式光刻技術(shù),才避免了破產(chǎn)危機,如今自然不愿看到別人用同樣的“自主創(chuàng)新”打破自己的霸權(quán)。
既然美荷都在限制出口,中國為什么一定要咬牙搞自研?答案其實很現(xiàn)實。
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從2020年開始,美國就對華為、中芯國際等中國科技企業(yè)展開全產(chǎn)業(yè)鏈打壓,導(dǎo)致華為的手機連5G都用不了——核心原因就是買不到5G射頻芯片;
而中國每年進口半導(dǎo)體芯片的花費超過2.1萬億人民幣,比原油進口還多1.6萬億,大量依賴進口不僅讓相關(guān)企業(yè)承受虧損,更讓整個產(chǎn)業(yè)鏈的安全捏在別人手里。
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在這樣的背景下,自研光刻機不是“選擇題”,而是“生存題”。
其實中國的光刻機研發(fā)早有布局,從2002年上海微電子裝備集團成立開始,就一步步從引進設(shè)備學(xué)習(xí),到2010年代中期能推出90納米級別的設(shè)備;
2020年后受國際壓力影響,研發(fā)速度進一步加快,2022年上海微電子完成28納米樣機測試,2024年12月首批28納米設(shè)備就交付到國內(nèi)生產(chǎn)線。
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值得一提的是,在極紫外光刻機領(lǐng)域,我國也推出了能在2024年量產(chǎn)13納米產(chǎn)品的EUV-7000,當(dāng)時稱得上是轟動全球。
這些進展不是“一蹴而就”,更不是“逆向工程”,而是二十多年技術(shù)積累的結(jié)果。
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只要有需求在,就不怕被封鎖
面對這些質(zhì)疑,中國的行動比辯解更有說服力。
美荷批評中國“短期趕不上”,但2025年4月,中芯國際就用深紫外多重曝光技術(shù)實現(xiàn)了5納米芯片量產(chǎn),還直接應(yīng)用到了華為的處理器上,證明了中國技術(shù)路徑的可行性;
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ASML說中國“缺乏核心部件”,但國內(nèi)的光刻膠、鏡片等供應(yīng)商也在逐步跟上,本土設(shè)備在28納米以上制程的應(yīng)用越來越廣。
就連ASML自己的CEO都不得不承認(rèn),雖然禁售EUV可能讓中國技術(shù)落后10到15年,但中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)仍在“持續(xù)發(fā)展”。
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這種矛盾的表述,恰恰暴露了他們的不安。
原因無他,中國是全球最大的半導(dǎo)體消費市場,哪怕2022年遭受美國打壓的情況下,我國芯片進口量仍然達到了全球產(chǎn)能的70%。
這足以證明,龐大的需求本身就是創(chuàng)新的驅(qū)動力,只要有需求在,就有研發(fā)和替代的空間。
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結(jié)語
如今再回頭看2024年9月那場同步批評,更像是一場壟斷者的“焦慮宣泄”。
美荷想靠輿論和出口限制擋住中國的腳步,但中國已經(jīng)在自研的路上走得越來越穩(wěn)。
或許短期內(nèi),中國在高端光刻機領(lǐng)域還會和西方有差距,但至少現(xiàn)在,自主研發(fā)已經(jīng)成了打破技術(shù)封鎖的唯一出路。
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那些批評聲沒有擋住上海微電子的設(shè)備交付,也沒有攔住中芯國際的5納米量產(chǎn),反而成了中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)進步的“背景音”。
未來這場博弈還會繼續(xù),但中國的方向很明確:別人不給的,就自己造出來。
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